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低温等离子光化学设备系统设备具有以下特点： 工艺系统的处理效率很高，并且很稳定； 初期投资费用不高，运行费用低，维护保养简单， 工艺系统容易操作，

低温等离子光化学工艺光化学能大大促进低温等离子的反应效果与速率，设计采用不同的强针对性的工艺技术；组合式工艺极大的提高了废气治理效率

低温等离子光化学设备运行过程中不会产生二次污染。净化作用持久，无需特殊照顾，运行维护费用低。除雾后，达到国家排放标准的气体通过引风机排入大气。